এলসিডি ডিসপ্লে নির্মাতাদের জন্য পিআর ক্লিনিং স্বয়ংক্রিয় উত্পাদন লাইনের মূল সরঞ্জাম
পিআর (ফটোরেসিস্ট) ক্লিনিং স্বয়ংক্রিয় উত্পাদন লাইন হল এলসিডি ডিসপ্লে উত্পাদনের একটি মূল ভেজা প্রক্রিয়া সরঞ্জাম। এটি প্রাথমিকভাবে অ্যারে সাবস্ট্রেটের ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার পরে অবশিষ্ট ফটোরেসিস্ট, এচিং অবশিষ্টাংশ এবং পৃষ্ঠের মাইক্রো-দূষকগুলিকে পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়। প্যানেল সার্কিট নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে এবং পণ্যের ফলন উন্নত করার জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জাম। ক্লাস 100 ক্লিনরুমের কঠোর উত্পাদন পরিবেশের জন্য পুরোপুরি উপযুক্ত, এটি উচ্চ-নির্ভুলতা, স্বয়ংক্রিয় এবং দূষণ-মুক্ত বন্ধ-লুপ পরিস্কার অপারেশনগুলি অর্জন করে।
ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার পরে ইতিবাচক এবং নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট অবশিষ্টাংশকে লক্ষ্য করে, এটি একটি বহু-পর্যায়ের অতিস্বনক পরিষ্কার + বিশুদ্ধ জলের ওভারফ্লো রিনিং প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গভীরভাবে ধ্বংসাবশেষ, জৈব দূষক, ধূলিকণা, এবং ফটোলিথোগ্রাফি এচিংয়ের পরে অবশিষ্ট অন্যান্য অমেধ্য অপসারণ করে। এটি পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে 0.5μm এর নিচের মাইক্রোস্কোপিক অবশিষ্টাংশগুলিকে অপসারণ করতে পারে, প্যানেল খোলা সার্কিট, উজ্জ্বল দাগ এবং অমেধ্য দ্বারা সৃষ্ট মুরা দাগের মতো ত্রুটিগুলি প্রতিরোধ করে৷ 0.1μm উচ্চ-নির্ভুল পরিস্রাবণ ব্যবস্থার সাথে মিলিত, এটি গৌণ দূষণ প্রতিরোধ করে। এটি পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে, ক্ষতি-মুক্ত অপসারণ অর্জন করে, পরবর্তী এচিং এবং আবরণ প্রক্রিয়াগুলিতে অবশিষ্ট আঠালো স্তরগুলির প্রভাব এড়ায়, 100% অপসারণের কভারেজ হার সহ।
ESD ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক কন্ট্রোল মডিউলে বিল্ট- ±100V এর থেকে কম বা সমান পরিসরের মধ্যে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক মানকে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করে। ক্যাভিটি অ্যান্টি-স্ট্যাটিক উপাদান এবং নন-যোগাযোগ ম্যাগনেটিক হুইল ডেলিভারি প্রযুক্তির সাথে মিলিত, এটি প্যানেলের নির্ভুল সার্কিট্রির ক্ষতি থেকে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাব এড়ায়, পাশাপাশি কাচের স্তরে ঘর্ষণ থেকে স্ক্র্যাচ, চিপিং এবং ধূলিকণা প্রতিরোধ করে, এইভাবে সাবস্ট্রেটের সুরক্ষা সর্বাধিক করে।
উচ্চ এবং নিম্ন তাপমাত্রা ধ্রুবক তাপমাত্রা পরীক্ষা চেম্বার
এলসিডি স্ক্রিন প্রস্তুতকারকদের জন্য স্বয়ংক্রিয় ক্লিনিং এবং ড্রাইং প্রোডাকশন লাইন ইকুইপমেন্টের মূল একটি ডুয়াল ড্রাইং মোডকে একীভূত করে: এয়ার নাইফ কাটিং এবং স্থির-তাপমাত্রা গরম বাতাস শুকানো। এটি সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ থেকে জলের দাগগুলিকে দ্রুত সরিয়ে দেয়, জলছাপ-মুক্ত এবং ট্রেস-মুক্ত শুকিয়ে যায়৷ শুকানোর পরে, স্তরের পৃষ্ঠের আর্দ্রতার পরিমাণ শূন্যের কাছাকাছি চলে যায়, যা সেকেন্ডারি প্রক্রিয়াকরণ ছাড়াই পরবর্তী প্রক্রিয়ায় সরাসরি স্থানান্তর করার অনুমতি দেয়, প্রক্রিয়াটির ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে। একটি PLC কন্ট্রোল সিস্টেম লোডিং, পজিশনিং, ক্লিনিং এবং আনলোডিং এর সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় বন্ধ-লুপ অপারেশনকে সক্ষম করে। এটি পরিষ্কার সমাধান ঘনত্ব সমন্বয়, তাপমাত্রা, আর্দ্রতা এবং পরিচ্ছন্নতার জন্য বাস্তব-সময় পর্যবেক্ষণ এবং অ্যালার্ম ফাংশন সমর্থন করে। সিল করা চেম্বার এবং গ্রেডিয়েন্ট নেগেটিভ প্রেসার ডিজাইন রাসায়নিক গ্যাস লিকেজ প্রতিরোধ করে। ক্লাস 100 ক্লিনরুমের ইতিবাচক চাপের পরিবেশের সাথে মিলিত, এটি অতি বিশুদ্ধ জল পুনর্ব্যবহারযোগ্য এবং বর্জ্য তরল শ্রেণীবিভাগ এবং পুনরুদ্ধার সক্ষম করে, উভয়ই শক্তি সঞ্চয় এবং পরিবেশ সুরক্ষা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
প্রথাগত ম্যানুয়াল ক্লিনিংয়ের তুলনায়, সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় PR ক্লিনিং প্রোডাকশন লাইনগুলির অপরিবর্তনীয় সুবিধা রয়েছে: পরিষ্কার করার দক্ষতা 3 গুণেরও বেশি বৃদ্ধি পেয়েছে, এবং প্রায় 10,000 গ্লাস সাবস্ট্রেট প্রতি শিফটে প্রক্রিয়া করা যেতে পারে, উল্লেখযোগ্যভাবে প্রক্রিয়া চক্রকে ছোট করে; পরিষ্কারের সামঞ্জস্য চমৎকার, 0.5μm-এর চেয়ে ছোট মাইক্রো-অবশিষ্টগুলি পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে অপসারণ করে, প্যানেলের ত্রুটির হারকে 0.5PPM-এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করে, পর্দায় উজ্জ্বল দাগ, অন্ধকার দাগ এবং সার্কিট ব্রেকগুলির মতো ত্রুটিগুলি কার্যকরভাবে এড়িয়ে যায়; সরঞ্জামগুলি একটি জল-সংরক্ষণ এবং শক্তি-সাশ্রয়ী নকশা গ্রহণ করে, একটি উচ্চ বিশুদ্ধ জল পুনরুদ্ধারের হার এবং বর্জ্য জল শ্রেণীবদ্ধ সংগ্রহ এবং চিকিত্সা, পরিবেশ সুরক্ষা উত্পাদন প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে; পুরো মেশিনটি ক্ষয়-প্রতিরোধী PVC এবং SUS304 স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে তৈরি, শক্তিশালী সিলিং, সহজ পরিচ্ছন্নতা এবং রক্ষণাবেক্ষণ সহ, এবং ক্লিনরুমে 24-ঘন্টা একটানা অপারেশনের জন্য উপযুক্ত, LCD স্ক্রিন নির্মাতাদের উচ্চ-সম্পন্ন পণ্যের লাইন তৈরি করতে এবং মূল প্রতিযোগিতা বাড়াতে মানক সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে।
এলসিডি ডিসপ্লে নির্মাতাদের ফটোলিথোগ্রাফি কর্মশালায় মূল সরঞ্জাম
এক্সপোজার সরঞ্জাম হল ফটোলিথোগ্রাফি কর্মশালার মূল সরঞ্জাম এবং এলসিডি অ্যারে উত্পাদন প্রক্রিয়ার একটি মূল প্রক্রিয়া এলাকা। প্যানেল লিথোগ্রাফি মেশিন নামেও পরিচিত, এটি একটি উচ্চ-নির্ভুল অপটিক্যাল ওয়েট প্রসেস ডিভাইস। এর প্রধান কাজ হল সাবস্ট্রেট সার্কিট ডিজাইন প্যাটার্নটিকে অপটিক্যাল এক্সপোজারের মাধ্যমে ফোটোরেসিস্ট দিয়ে লেপা একটি গ্লাস সাবস্ট্রেটে স্থানান্তর করা, যা প্যানেলে মাইক্রো-সার্কিট গঠনের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। ফটোমাস্ক থেকে গ্লাস সাবস্ট্রেটে সার্কিট প্যাটার্নের সুনির্দিষ্ট স্থানান্তর হল পরবর্তী এচিং, লেপ এবং পিআর পরিষ্কারের প্রক্রিয়ার পূর্বশর্ত, যা সরাসরি ডিসপ্লে স্ক্রিনের গুণমান নির্ধারণ করে। সরঞ্জামগুলি একটি নন-যোগাযোগ এক্সপোজার প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, বড়-আকারের জন্য উপযুক্ত, পাতলা এলসিডি গ্লাস সাবস্ট্রেট, সাবস্ট্রেট স্ক্র্যাচ, ক্ষতি এবং দূষণ এড়ানো।
মূল প্রযুক্তিগত হাইলাইটগুলির মধ্যে রয়েছে মাইক্রোন-লেভেল বা এমনকি সাব-মাইক্রোন-স্তরের ওভারলে নির্ভুলতা সহ একটি উচ্চ-নির্ভুল অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেম, কয়েক হাজার মিটার চুলের মধ্যে নিয়ন্ত্রিত ত্রুটিগুলির সাথে মাল্টি-স্তরের সার্কিট স্ট্যাকিংয়ে শূন্য মিসলাইনমেন্ট নিশ্চিত করে এক্সপোজার শক্তির ওঠানামা অর্জনের জন্য একটি অভিন্ন এক্সপোজার আলোর উত্স এবং গতিশীল ফোকাসিং প্রযুক্তির ব্যবহার<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
সম্পূর্ণ ওয়ার্কশপটি একটি 589nm একরঙা হলুদ আলোর উত্স ব্যবহার করে, যা সম্পূর্ণরূপে সংক্ষিপ্ত-তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো যেমন অতিবেগুনী, নীল এবং সাদা আলোকে ফিল্টার করে, এই রশ্মিগুলিকে ফটোরেসিস্টে অকালে আলোক রাসায়নিক বিক্রিয়াকে ট্রিগার করা থেকে প্রতিরোধ করে, প্যাটার্ন কমপ্লিটস এবং ওপেন সার্কিটস, ওপেন সার্কিট, ওপেন সার্কিট, এর মতো মারাত্মক ত্রুটি সৃষ্টি করে৷ আলোক ব্যবস্থা বিপথগামী আলোর ফুটো রোধ করতে উত্সর্গীকৃত হলুদ LED এবং ডাবল-স্তর ফিল্টারের সংমিশ্রণ ব্যবহার করে; দরজা, জানালা এবং পর্যবেক্ষণ জানালাগুলি অ্যান্টি-আল্ট্রাভায়োলেট ফিল্টার সামগ্রী দিয়ে সজ্জিত; মোবাইল ফোন, ক্যামেরা, উচ্চ-চালিত ফ্ল্যাশলাইট এবং অন্যান্য বাহ্যিক আলোর উত্স ওয়ার্কশপের ভিতরে কঠোরভাবে নিষিদ্ধ, এবং উত্স থেকে ফটোরেসিস্টের অকাল এক্সপোজারের ঝুঁকি দূর করার জন্য সম্পূর্ণ-এরিয়া লাইট ডিসিপ্লিন কন্ট্রোল প্রয়োগ করা হয়েছে৷
এলসিডি ডিসপ্লে নির্মাতাদের জন্য ক্লাস 100 ক্লিনরুমের পরিচিতি
উচ্চ-নির্ভুল LCD উত্পাদন ক্ষেত্রে, ক্লাস 100 ক্লিনরুম (ISO ক্লাস 5 ক্লিনরুম) হল মূল উৎপাদন সুবিধা এবং একটি প্রস্তুতকারকের প্রযুক্তিগত শক্তি এবং পণ্যের ফলনের একটি প্রধান সূচক৷ এগুলি BOE, TCL CSOT, HKC, এবং Tianma-এর মতো নেতৃস্থানীয় ডিসপ্লে কোম্পানিগুলির দ্বারা অ্যারে, সেল অ্যাসেম্বলি এবং মডিউল প্যাকেজিংয়ের মতো মূল প্রক্রিয়া পর্যায়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এই ক্লিনরুমগুলিতে কঠোর পরিচ্ছন্নতার মান রয়েছে, যেখানে প্রতি ঘনফুট বাতাসে 0.5μm ব্যাসের বেশি বা সমান 100টির বেশি স্থগিত ধূলিকণা নেই (প্রতি ঘনমিটার 3520 এর চেয়ে কম বা সমান)। এই পরিচ্ছন্নতার স্তরটি মেডিকেল অপারেটিং রুমের তুলনায় অনেক বেশি, যা ধুলো, স্থির বিদ্যুৎ এবং রাসায়নিক দূষকগুলিকে নির্ভুলতা প্রক্রিয়ায় হস্তক্ষেপ থেকে রোধ করতে "হার্ডকোর বাধা" হিসাবে কাজ করে। এটি একটি মূল হার্ডওয়্যার উপাদান যা সরাসরি স্ক্রিনের চিত্রের গুণমান, জীবনকাল এবং ফলনের হার নির্ধারণ করে।
ওয়ার্কশপটি আইএসও আন্তর্জাতিক এবং দেশীয় মান অনুযায়ী কঠোরভাবে ডিজাইন এবং নির্মিত হয়েছে। এটি একটি উল্লম্ব একমুখী বায়ুপ্রবাহ মোড গ্রহণ করে, একটি চার-পর্যায়ের ULPA পরিস্রাবণ ব্যবস্থার সাথে মিলিত হয় (প্রাক-ফিল্টার, মাঝারি-দক্ষতা ফিল্টার, উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার, এবং অতি-উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার থেকে উচ্চতর ফিল্টার), 99.999%, অবিলম্বে ধুলো অপসারণ নিশ্চিত করে এবং বায়ুপ্রবাহের মৃত অঞ্চলগুলি দূর করে। একই সাথে, সুনির্দিষ্ট পরিবেশগত নিয়ন্ত্রণ সমস্ত মাত্রা জুড়ে অর্জন করা হয়: 23±1 ডিগ্রী একটি ধ্রুবক তাপমাত্রা, 45%-55% এ নিয়ন্ত্রিত আপেক্ষিক আর্দ্রতা, পরিচ্ছন্ন এলাকায় একটি ইতিবাচক চাপের অবস্থা বজায় রাখা হয়, এবং সংলগ্ন এলাকার মধ্যে 10Pa-এর চেয়ে বেশি বা সমান চাপের পার্থক্য, সম্পূর্ণরূপে বহিঃপ্রবাহের অনুপ্রবেশ রোধ করে; ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষতির জন্য ডিসপ্লে প্যানেলের সংবেদনশীলতা বিবেচনা করে, অ্যান্টি{15}}স্ট্যাটিক ইপোক্সি সেলফ-লেভেলিং ফ্লোরিং ব্যবহার করা হয়, এবং 304 স্টেইনলেস স্টীল এবং ক্লিনরুম কালার স্টিল প্লেটগুলি দেওয়াল এবং সিলিংয়ের জন্য ব্যবহার করা হয়, পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে স্ট্যাটিক বিদ্যুতের মানগুলির কঠোর নিয়ন্ত্রণের সাথে; আণবিক-স্তরের VOC রাসায়নিক দূষণকারী এবং সুপ্ত হস্তক্ষেপ যেমন মাইক্রো-কম্পন, ফটোলিথোগ্রাফি, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন এবং লিকুইড ক্রিস্টাল ইনজেকশনের মতো ন্যানোস্কেল প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ প্রদান করা হয়।
কর্মশালাটি একটি টায়ার্ড ক্লিনরুম জোনিং ডিজাইন গ্রহণ করে, একটি ক্লাস 100 কোর এলাকা, একটি ক্লাস 1000 বাফার এলাকা এবং একটি ক্লাস 10,000 সহায়ক এলাকায় বিভক্ত, স্তরগুলি ক্রস-দূষণ প্রতিরোধ করে, এবং কর্মী এবং স্বয়ংক্রিয় উপাদান পরিবাহক লাইনগুলি সম্পূর্ণ আলাদা করা হয়৷ কর্মীদের অবশ্যই জামাকাপড় পরিবর্তন, এয়ার শাওয়ার এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক সনাক্তকরণের একটি ত্রিগুণ প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যেতে হবে এবং শুধুমাত্র একটি সম্পূর্ণ-বডি ক্লিনরুম স্যুট, ধুলো-মুক্ত গ্লাভস এবং গগলস পরে প্রবেশ করতে হবে; উপকরণগুলি আন্তঃলক স্থানান্তর জানালার মাধ্যমে স্থানান্তরিত হয় এবং ধুলো এবং স্থির বিদ্যুৎ অপসারণের চিকিত্সা করা হয়; অভ্যন্তরটি FFU লেমিনার ফ্লো হুড, অনলাইন কণা কাউন্টার, তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা সেন্সর, ডিফারেনশিয়াল প্রেসার মনিটর, এবং 24-ঘন্টা রিয়েল-টাইম মনিটরিং এবং ডেটা ট্রেসেবিলিটি অর্জনের জন্য অন্যান্য সরঞ্জাম দিয়ে সজ্জিত, এবং অবিলম্বে সতর্কতা জারি করবে এবং অবিচ্ছিন্ন পরিবেশগত স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে অস্বাভাবিক সূচকগুলির ক্ষেত্রে সমন্বয় করবে৷
